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纯 SF 6是 GIS 内的标准填充材料，但随着时间的推移，气体隔间会通过渗透和内部材料的解吸而 被水蒸气 (H 2 O) 污染。虽然水蒸气和SF 6 通常不会相互反应，但在高能放电的情况下，从水蒸气中分解出的氢和氧将与SF 6 中的硫和氟反应，形成分解副产物 。其中包括二氧化硫 (SO 2 ) 和氢氟酸 (HF)，它们会腐蚀气体室的内部组件。 具有低水蒸气含量（低湿度）的SF 6显着降低了形成这些腐蚀性化合物的可能性，这就是为什么准确且可重复的测量数据是任何 GIS 预防性维护计划的宝贵组成部分。